扫描电子显微镜仪器

仪器名称:扫描电子显微镜仪器

品牌:COXEM  

型号:EM-30PLUS

国别:韩国

资产编号:20201140ss

所属实验室:中心实验室 A101室

安装地点:A101隔断

单价（人民币）:1160429元

管理人：梁利香

联系电话:13939796680

功能和适用范围：COXEM库赛姆EM-30 Plus台式扫描电子显微镜利用双聚光镜成像技术，采用大型扫描电镜成像方式，使用二次电子探测器作为基础成像单元，获得高分辨率（<5nm）图像，可以快速实现扫描电镜对材料微区化学成分进行定性及定量分析。

技术指标和参数：

超高分辨率（5.0nm @30kV SE）；更大的放大倍数x 150,000；

放大倍数：x20 ~ x150,000

加速电压：1~30kV

电子枪、钨灯丝、探测器，标配二次电子像（升级）、背散射电子像（可伸缩）

样品台：X：35mm (马达驱动)， Y： 35mm (马达驱动)，

T：0- 45°(马达驱动)， R： 360°，Z: 5-50mm

样品座：通用7个样品桩的样品台，通用25mm的样品台

试样尺寸：45mm（高）,60mm （直径）

图像模式：Focus聚焦（160 x120 pixel）

RED选区（320x240），TV（640x480），Slow（800x600），Photo（1280x960，2560x1920，5120.x3840）

真空系统：涡轮分子泵（小于3分钟）

软件：NanoStation 3.0TM

自动功能：聚焦、灯丝、亮度、对比度  

特殊功能：SE+BSE混合像，分屏同时显示SE,BSE像

操作系统：Windows 7

外形尺寸：400×600×500,90kg